產(chǎn)品展示
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αL6X-1316-ZZ1
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TOKKYOKIKI 減震臺(tái) αL6X-1316-ZZ1
產(chǎn)品詳情
系統(tǒng)采用直線電機(jī)執(zhí)行器和空氣彈簧進(jìn)行主動(dòng)隔振，適用于精密儀器設(shè)備的隔振，可將影響儀器設(shè)備正常工作的安裝場(chǎng)地的細(xì)微振動(dòng)，在所有頻率范圍內(nèi)予以全面衰 減而不降低儀器設(shè)備本身具有的各項(xiàng)性能。它可以抑制振動(dòng)干擾，使ORION NanoFab保持高分辨率。
技術(shù)規(guī)格
商品 描述
尺寸 1300（W）×1600（D）×182（H，放氣位置）mm
重量 1100Kg
隔離機(jī)制（1） 6活動(dòng)自由度
隔離機(jī)構(gòu)（2） 直線電機(jī)執(zhí)行器的主動(dòng)隔離
所需氣壓 0.6MPa及以上
負(fù)載重量（最大） 2000Kg（均勻負(fù)載）
電源 100-240VAC
電源頻率 50 / 60Hz
功耗（最大） 380W
隔離起始頻率 0.5Hz
應(yīng)用實(shí)例
