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αL6X-1316-ZZ1
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TOKKYOKIKI 減震臺 αL6X-1316-ZZ1

產品詳情


系統采用直線電機執行器和空氣彈簧進行主動隔振,適用于精密儀器設備的隔振,可將影響儀器設備正常工作的安裝場地的細微振動,在所有頻率范圍內予以全面衰 減而不降低儀器設備本身具有的各項性能。它可以抑制振動干擾,使ORION NanoFab保持高分辨率。


技術規格


商品                      描述

尺寸                      1300(W)×1600(D)×182(H,放氣位置)mm

重量                      1100Kg

隔離機制(1)        6活動自由度

隔離機構(2)        直線電機執行器的主動隔離

所需氣壓                0.6MPa及以上

負載重量(最大)   2000Kg(均勻負載)

電源                      100-240VAC

電源頻率                50 / 60Hz

功耗(最大)          380W

隔離起始頻率          0.5Hz


應用實例


      


  

 

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